1.風速

a)將低溫操作臺主濾網或擴散板下游10 cm處的平面面積分成不少于十二個等分的面積，每個中心點作為風速測點。但每個測點的間隔不能超過25厘米；

由各個測點的風速值計算出平均風速和平均風速率。

2.懸浮物的數量。

a)吸入點(對于大于0.5 um的微粒/L)，不得少于35000粒/L；不符合適于在吸入空氣中擴散的條件；

b)中心在主濾器或整流柵出口處250 mm處進行5次連續試驗，以求平均采樣不少于1 L。

3.沉淀菌。

將含有營養瓊脂的j90mm培養皿放在工作臺操作界面上，然后用0.5 h覆蓋測點，用0.5 h覆蓋蓋，取出培養皿，在30~35℃條件下培養48 h。用肉眼計算可見菌群，取算術平均數。

4.照度

測點布置在潔凈工作臺的橫向中心線上，均勻布置三點，取算術平均數作為低溫操作臺的照度。

5.檢驗高效過濾器(PAO)。

在高效過濾器出口兩側約2.5厘米處噴射噴霧噴霧，對高效濾清器上游側的噴霧器進行掃描和巡視。檢出率≤5 cm/s。當上游側濃度比大于0.01%時，認為下游側泄漏明顯；

6.噪聲

低溫操作臺面前20厘米、高度110 cm (相當于耳位位置與耳位位置相等)的清潔工作臺噪聲測點。其他局部凈化設備的噪聲測點位于設備主面幾何中心與100 cm高150 cm處。每邊測量一面，取四點算術平均值。

7.氣流流型。

(a)垂直氣流試驗。

前窗內側150 mm高300 mm的煙塵，其位置是從一邊壁板移動到另一側壁板操作區域，清潔工作臺下部垂直向下下降的氣流，不存在向上氣流。

前窗內部工作區深1/2，高達300 mm的煙塵從一邊壁板移到另一側的工作區域，清潔工作臺的垂直下降氣流在均流板下方呈下降狀，無向上流動。

當距作業區150 mm高300 mm處，煙幕從一面壁板移到另一面壁板操作區域時，清潔臺面下方的垂直下降氣流在均流板下方出現下降，沒有向上流動。

橫向氣流試驗。

前窗內部操作區深度1/2，高達300 mm的煙塵從一邊壁板移到另一側的壁板操作區域，低溫操作臺的水平氣流在散流孔前方呈外向型，沒有向內氣流。